Вакуумная магнетронная напылительная система SmartLab

Вакуумная напылительная система представляет собой высокотехнологичное оборудование для нанесения покрытий из различных проводящих материалов методом магнетронного распыления на постоянном токе и ВЧ.

Установка состоит из вакуумной камеры, в которой расположены узлы для напыления. В нижней части находится подложкодержатель, на котором закрепляются детали для напыления. В боковой части камеры расположен ИК-нагреватель, который с помощью программируемого логического контроллера (ПЛК) поддерживает выставленную на экране контроллера температуру.

На магнетроны подается сигнал от источников питания постоянного тока. Мишени из распыляемого материала распыляются на подложку, закрепленную в подложкодержателе. Установка позволяет напылять материал с одной или двух мишеней. Возможно нанесение различных материалов послойно. В качестве мишеней могут использоваться диски сделанные из металлов, прецизионных металлов, композитных проводящих материалов. Конструкция магнетрона предусматривает использование мишеней диаметром 50 мм.

К вакуумной камере подсоединена система откачки. Напыление происходит при давлении 1х10-5 мбар. В процессе напыления используется аргон газообразный высокой чистоты ТУ 2114-005-00204760-99. Все рабочие параметры представлены в таблице 1.

Таблица 1 – Рабочие параметры вакуумной напылительной системы

Рабочее давление в камере

1х10-5 мбар

Максимальная температура в камере

150 0С

Рабочая среда в камере

Газ аргон

Диаметр мишени

50 мм

Возможности перемещения подложкодержателя

Автоматизированное движение по оси Z и одновременное вращение на 3600

Возможный материал напыления

Cr, Ni, Cu *

Возможные материалы подложки

Оптические волокна**, оптические детали, металлические изделия, керамика

Максимальные габариты подложки

80х80х100 мм

Максимальная толщина наносимой пленки

1 мкм

Контроль нанесенной пленки

Визуальный контроль нанесенного покрытия осуществляется при помощи микроскопа Levenhuk 510

 

* Возможно нанесение других проводящих материалов по договоренности.

** Для оптических волокон возможна единовременная загрузка до 10 шт с участком перепокрытия до 10 мм.

*** Возможно проведение рентгеноспектрального анализа нанесенного покрытия (определение макро- и микросостава, построение пространственных карт распределения элементов покрытия).

Распечатать